排查过程中,众人越来越疑惑。
第一次检查没有任何异样,说明基础的东西没有任何问题。
那现在就只能是程潇做的EUV出了问题。
田帅等人心里已经开始质疑起来,但又不好当着程潇的面问。
“看来情况有些糟糕。”
虽然程潇不愿意相信,但确实是自己制作的EUV出了问题。
这时,唐琪走过来说道:“程潇,咱们要把EUV仪器拆下来检查吗?”
这仪器是他们好不容易才安装上去的,如果又重新捣鼓一下,起码得花上一天时间!
更何况仪器内部无比精密,先不说能不能检查出毛病出在什么地方,万一不小心磕着碰着弄坏了,他们这几天都算是白干了!
所以这是一个非常冒险的举动。
程潇听完后也陷入了沉思,想了半天后,他给出了一个让所有人震惊的回答。
“这样,我把外壳拆开,重新做一次实验。”
“什么?!”
众人明白了程潇的意思:“你是想直接通过实验观测问题所在?”
“嗯。”
程潇点了点头,说道:“待会儿我就待在实验室里,你们把光学显微镜给我拿过来,我一点一点看着做。”
疯了,简直是疯了!
第一次听说有人要在光刻机内部盯着做实验的!
“不行,这样太危险了!”
唐琪有些担心的说到:“光脉冲伤害极大,万一出了什么事,可不是闹着玩的!”
“眼下时间紧迫,我们没有别的选择了。”
程潇态度十分坚决,自己走出去将显微镜拿了进来。
众人经过几天的相处,也是知道他的脾气,所以也只好按照程潇说的做。
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