“行了,先休息一会吧”他还要说话,陆见连忙说“我现在就开始做实验,你不用担心,电路图已经画好了,我检查过,没有问题。”
听到他的话蓝明达就放心了,安心坐了下来。
陆见回到自己位置上,在单晶硅片上滴上光刻胶,又用旋涂技术将其涂均匀,让晶圆表面形成一层光刻薄膜。之后利用光学透镜将掩膜桑的电路投射到晶圆上,这里使用的光线是紫外线。
陆见手很稳,电路图被完美地投在了晶圆上面。
之后将光刻过的晶圆放入显影液中,再之后就是冲洗,放入腐蚀液中,经过冲洗之后填充二氧化硅用于绝缘
这套工艺步骤很多,也很复杂,不过陆见还是很顺利地进行了下去,等到陆见将所有步骤做完的时候已经非常晚了,中途简明远和徐言他们轮流帮忙,等到陆见将各元器件连接完成的时候已经是凌晨四点多了。
陆见揉揉疲乏的眼睛,这个光学透镜倍率还是不行,如果能再高些的话他们能生成的晶体管更多,要知道未来工艺达到一定水平片之后,一块晶圆上可以分割出成千上万个芯片,可惜现在一切都是梦了。
陆见了实验室里面的人,大都已经趴在桌子上睡着了,一直说要陪着他等结果的简明远还有蓝明达他们也都撑着手迷糊着。因为芯片制作的最后一个步骤是连接个元器件,要将金属铜填充到各晶体管之间作为嗲年,工艺多且复杂,需要不断重复很多层,整个过程差不多就几百个步骤,他们都已经撑不住了。
陆见将芯片放在盒子里,站起来伸了个懒腰,无声地打了几个哈欠,并没有叫醒他们的意思,现在都四点多了,还是让他们休息一吧,没多久就天亮了。
心里这么想着陆见拿起装芯片的盒子,脚步轻轻地回到了自己的办公室,之后拿起水杯喝了一口水,也准备趴一会,还好现在已经五月了,天气已经快三十度了,也不用担心他们着凉。
心里这么想着他就闭上眼睛趴着睡了起来,脑子实在是太累了,还没等他睡着门就被突然被从外面打开了。
“陆工,你在这啊”
脚步声到了陆
见桌子边上,陆见没办法只能勉强睁开眼睛太起来,进来的是蓝明达,门外面还站着简明远、赵磊和徐言,应该是突然醒过来发现他没在。
“芯片已经做好了,在这。”知道他们在想什么,陆见直接将桌子抽屉里面装着芯片的盒子拿了出来。
蓝明达迫不及待地接了过来,打开了起来,还一边问“你做完多久了呀没有什么问题吧怎么不喊我们呢现在直接可以做测试了。”
门外的徐言他们也都跑了进来,围着蓝明达了起来。
陆见无奈地说“四点刚弄完,才趴在桌子上准备休息一会你们就进来了。”
蓝明达点头,“那你继续休息,我们去做测试了。”说着几个人就要出去。
陆见“等一下,等天亮了再做,外面不少人都睡着了,你们也都休息一会吧”都这个时间了,做测试肯定会将其他人都吵醒的。
几个人安静了一下,就在这时又有人跑了过来,人还没到声音已经传了过来,“蓝工,陆工他在办公室吗其他地方都没人呀”
陆见“”来这是全部都醒了。
那人进来到他们这样还有些奇怪,“陆工”
陆见知道这是别想睡了,只能说“走吧,走吧,现在都去做测试去,今天做完了早些下班。”
“好的。”听到他的话蓝明达应了一声就带着人都出去了,陆见没办法也只能跟在他们后面过去了。
一块芯片完成之后需要经过多道工序检测,达不到要求的机会被丢弃。
测试的时候陆见并没有上手,只是着,他们之前也都做过多次测试了,整个过程都很顺利,陆见就那么着,慢慢地整个人都迷糊了起来,不过他还是强撑着,毕竟这块芯片关乎到他们之后的研究。
这次测试包括接触测试、功能测试还有直流和交流参数测试。
等到天光大亮的时候,测试终于做完了。
测试的报告在蓝明达手上,陆见也没准备过去抢,坐在原位等待他公布答案。
蓝明达仔细地了一下,高兴地说道“本次芯片测试非常成功,完全合乎要求,接触测试中所得电压值都超过了特定的电压范围,树枝在3v以上,所以都是开路。电
路逻辑功能正确”
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