第266章
审判场上
看着缓慢加载进度的叶四海,他的心头浮现出了一抹难言的紧张之色。
这份文件,真的会是当初自己看到的那份光科技技术图纸吗?
当年发生的一切,真的像是江逸所说的一样吗?
望着加载进度越来越接近“100%”叶四海能感觉到自己的心跳声越来越快,越来越急促!
“90%...91%...92%...93%...”
叶四海突然望了一眼身旁的黑衣男子,打量着他的身形,叶四海突然感到了一抹眼熟。
他已经知道了对方的身份,是当年的国安局成员孙维,也是冒死将光刻机技术图纸送回国内的那个人!可是,自己究竟是在什么地方,见过他呢?
叶四海感觉自己好像想起了什么,然而具体是什么,却又说不出来。
这种抓不住思绪的感觉,让他有些迷茫。
终于。
“99%....100%!”
在迟迟等待了许久之后,漫长的文件加载时间,总算是走到了尾声!
伴随着“100%”这个数字出现在了屏幕上,这份文件的全貌,一览无余地摆在了叶四海的面前!而在看到他的第一眼,叶四海的瞳孔便是瞬间一震!
他的表情,也是骤然变了!
“为了实现3nm工艺,光刻机需要使用极紫外(EUV)光源,其波长为13.5nm,比目前使用的193nm光源短了14倍。”
“EUV光源可以提供更高的分辨率和更低的线边粗糙度,但也带来了更多的技术挑战,如光源稳定性、光学元件损耗、掩模缺陷等。此外,3nm工艺还需要采用多重曝光(MEP)和自对准四极(SAQP)等方法,以实现更细致的图案划分和对齐....”
叶四海的语速越来越快,声音也变得越来越急促!
“我设想出了一种基于EUV光源和MEP+SAQP方法的3nm光刻机技术方案,首先采用基于激光产生等离子体(LPP)的EUV光源,其功率达到250W,可满足每小时曝光2000片硅片的需求。”
“同时,采用闭环反馈控制系统,实时监测和调节光源参数,保证其稳定性和均匀性...”
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